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电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，南京特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业。

特种气体的分类

近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，特种气体生产厂家，促使这一块所需使用气体的飞速发展。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等行业。主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅i烷类。

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。

特种气体系统的设计与施工

管道系统的设计

1.材料的选择

特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，特种气体价格，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。

2.主管路系统的设计

在确定好气体房和用气点以后，主管路系统一般遵循管道线路1短，特种气体公司，拐弯少，布置紧凑合理，给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。

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